如何解決氧化硅拋光液結(jié)晶問題
二氧化硅拋光液在拋光過程中會出現(xiàn)結(jié)晶結(jié)塊的現(xiàn)象,雖然不是大問題但如果處理不當(dāng),很可能會導(dǎo)致工件表面劃傷甚至報廢,那么怎么解決氧化硅拋光液結(jié)晶問題呢?
首先要了解硅溶膠拋光液的特點屬性。二氧化硅拋光液是以高純度硅粉為原料,經(jīng)水解法離子、交換法制備成的一種高純度低金屬離子型產(chǎn)品。在水性環(huán)境中容易形成一種離子網(wǎng)狀結(jié)構(gòu),而一脫離了水份,表面積迅速凝結(jié)形成結(jié)晶塊,所以只要保持水分基本上是不會出現(xiàn)結(jié)晶現(xiàn)象。在實際CMP拋光工藝當(dāng)中硅溶膠拋光液會一直在研磨盤轉(zhuǎn)動、流動,結(jié)晶情況較少。
因此氧化硅拋光液存儲環(huán)境要在陰涼避光處溫度5-30℃之間。并且拋磨工作完成后及時清洗處理盤面和拋光墊,這樣就不容易在拋光墊和機臺上殘留二氧化硅結(jié)晶。
吉致電子科技根據(jù)二氧化硅磨料的特性,研發(fā)了非晶態(tài)納米二氧化硅拋光液,氧化硅精拋液等,可以長時間保持非結(jié)晶狀態(tài)。使用過程中保持穩(wěn)定的膠體狀態(tài),分散均勻(不結(jié)塊),腐蝕速率穩(wěn)定,達(dá)到鏡面拋光效果。
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