- [常見問題]CMP拋光墊在化學(xué)機(jī)械平面研磨中的作用和效果[ 2025-01-11 10:25 ]
- CMP拋光墊在化學(xué)機(jī)械平面研磨中的作用和效果通過調(diào)整拋光墊的密度和硬度,可以根據(jù)目標(biāo)值(如鏡面光潔度、精度等)進(jìn)行優(yōu)化,確保工件表面達(dá)到鏡面光潔度,同時與研磨相比,損傷降至最低。在CMP過程中,拋光墊主要發(fā)揮以下作用:1. 均勻施加壓力:由于拋光墊通常由柔性材料制成,并具有一定的彈性,它能夠在壓力施加時均勻變形,確保材料的去除速率在整個晶圓表面上保持一致,避免局部去除過度或不足。2. 散熱:CMP過程中會產(chǎn)生大量熱量,拋光墊通常由具有良好導(dǎo)熱性能的材料制成,例如聚氨酯等,能夠快速傳導(dǎo)熱量,防止局部過熱,從而保護(hù)晶圓
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- [吉致資訊]吉致電子CMP精拋墊的作用有哪些[ 2024-12-17 15:37 ]
- 吉致電子CMP精拋墊的作用有哪些?化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)技術(shù)是目前國際上公認(rèn)的唯一能夠?qū)崿F(xiàn)全局平坦化的技術(shù),在半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域中占據(jù)著舉足輕重的地位。CMP精拋墊,作為CMP化學(xué)機(jī)械平面研磨(Chemical Mechanical Polishing)精拋階段所使用的拋光墊,是半導(dǎo)體制造過程中不可或缺的關(guān)鍵耗材。吉致電子CMP拋光墊--精拋墊的功能特點(diǎn)將通過以下四個方面進(jìn)行闡述: CMP精拋墊在CMP工藝流程中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用,其主要功能涵蓋:1.確保拋光液能夠高效且均勻
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- [吉致動態(tài)]Suba800拋光墊國產(chǎn)替代一樣香[ 2024-10-15 16:47 ]
- Suba800是一款在半導(dǎo)體及集成電路相關(guān)領(lǐng)域被廣泛使用的cmp拋光墊。其作為化學(xué)機(jī)械平面研磨工藝的知名耗材,產(chǎn)品特性顯著且穩(wěn)定性高,適用于半導(dǎo)體硅片、晶圓、精密陶瓷、藍(lán)寶石襯底等工件的表面平坦化。 Suba800拋光墊還適用于光學(xué)和金屬材料的拋光。在光學(xué)材料的拋光中,Suba800能提供高透明度、低粗糙度的表面,提高光學(xué)性能。在金屬工件拋光中,Suba800能夠有效去除金屬表面的氧化膜和劃痕,使其表面更加光滑、亮麗。 無錫吉致電子科技有限公司生產(chǎn)的 Suba800國產(chǎn)替代產(chǎn)品
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- [吉致動態(tài)]吉致電子:CMP鉬金屬研磨液,點(diǎn)亮鉬材非凡光彩[ 2024-09-29 16:55 ]
- 無錫吉致電子科技有限公司是CMP研磨液、拋光墊及CMP拋光耗材研發(fā)生產(chǎn)廠家,至今已有 20 余年的研發(fā)經(jīng)驗(yàn)。 吉致電子CMP產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于金屬、光電、集成電路半導(dǎo)體、陶瓷、硬盤面板顯示器等材質(zhì)的表面深度處理,目前已發(fā)展為集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售于一體的現(xiàn)代工業(yè)科技廠家。目前我司生產(chǎn)的鉬金屬研磨液適用于平面形態(tài)的鉬、鉬合金工件的鏡面拋光,通過 化學(xué)機(jī)械平面研磨工藝,使鉬金屬表面快速去粗和平坦化,過程簡單來說就是利用拋光設(shè)備將鉬金屬拋光液化學(xué)氧化腐蝕鉬合金表面,再通過拋光墊外力研磨去除氧
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- [吉致動態(tài)]半導(dǎo)體襯底拋光工藝---磷化銦InP拋光液[ 2023-10-31 17:20 ]
- 拋光是晶片表面加工的最后一道工序,目的是降低表面粗糙度,獲得無損傷的平坦化表面。對于磷化銦INP材料,目前主要采用 CMP化學(xué)機(jī)械平面研磨工藝來進(jìn)行拋光。使用吉致電子磷化銦拋光液,可達(dá)到理想的表面粗糙度。磷化銦INP作為半導(dǎo)體襯底,需要經(jīng)過單晶生長、切片、外圓倒角、研磨、拋光及清洗等工藝過程。由于磷化銦硬度小、質(zhì)地軟脆,在鋸切及研磨加工工藝中,晶片表面容易產(chǎn)生表面/亞表面損傷層,需要通過最終的CMP拋光工藝去除表面/亞表面損傷、減少位錯密度并降低表面粗糙度。 吉致電子磷化銦拋光液采用氧化鋁
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