- [常見問題]吉致電子---氧化鈰研磨液在半導(dǎo)體CMP制程中的作用[ 2023-02-10 13:09 ]
- 粒徑30-50nm的球形氧化鈰研磨液用于半導(dǎo)體芯片制程：應(yīng)用于芯片制程中氧化硅薄膜、集成電路STI(淺溝槽隔離層)CMP STI目前已成為器件之間隔離的關(guān)鍵技術(shù)，目前已取代LOCOS(硅的局部氧化)技術(shù)。其主要步驟包括在純硅片上刻蝕淺溝槽、進(jìn)行二氧化硅沉積、后用CMP技術(shù)進(jìn)行表面平坦化。目前的研究表明采用納米氧化鈰作為CMP磨料，在拋光效率及效果上均優(yōu)于其他產(chǎn)品。 納米氧化鈰拋光液在硅晶圓CMP平坦化的效果優(yōu)異 粒徑小于100nm的球形氧化鈰拋光液用于單晶硅片表面C
-
http://m.shatx.com/Article/jzdzyhsymy_1.html
相關(guān)搜索
- 無相關(guān)搜索
吉致熱門資訊
-
南京某手機(jī)外殼加工廠 -
上海某精磨玻璃拋光公司
-
廣東硅晶片拋光廠
-
吉致應(yīng)用案例：藍(lán)寶石
-
吉致應(yīng)用案例：陶瓷
-
吉致應(yīng)用案例：鎢鋼
-
吉致資訊第56期：高性價(jià)比Leme藍(lán)牙耳機(jī)
-
吉致資訊第64期：畫家的福音“APPLE PENCIL”
-
CMP拋光液的應(yīng)用領(lǐng)域有哪些？
-
吉致資訊第118期：拋光墊性能對(duì)拋光液的影響
-
吉致資訊第119期 藍(lán)寶石化學(xué)機(jī)械拋光液作用研究
-
吉致資訊第120期 諾基亞10 MAX長這樣，這設(shè)計(jì)有點(diǎn)復(fù)古
-
吉致咨詢第121期 海綿砂紙?jiān)谀Ｐ痛蚰サ膽?yīng)用
-
吉致咨詢第122期 拋光液作用和濃度對(duì)工件的影響
-
吉致資訊第123期 如何正確選擇合適的拋光液
-
吉致資訊第124期 陶瓷鏡面拋光工藝
-
吉致資訊第125期 如何在研磨工藝中減免劃痕
-
吉致資訊第126期 NASA正在研究混合動(dòng)力客機(jī)：噪音更低、更省油
-
吉致咨資訊第127期 真人翻譯評(píng)訊飛曉譯翻譯機(jī)：晚來10年的“翻譯神器”
-
吉致資訊第128期 iPhone SE二代存在的意義 小尺寸大屏幕成終目
