您好,歡迎來到吉致電子科技有限公司官網(wǎng)!
收藏本站|在線留言|網(wǎng)站地圖

吉致電子拋光材料 源頭廠家
25年 專注CMP拋光材料研發(fā)與生產(chǎn)

訂購熱線:17706168670
熱門搜索: 阻尼布拋光墊復(fù)合拋光皮復(fù)合拋光墊粗拋皮粗拋墊
吉致電子專注金屬拋光、陶瓷拋光、半導(dǎo)體拋光、硬盤面板拋光
當(dāng)前位置:首頁» 行業(yè)資訊 » 吉致資訊第4期:化學(xué)機(jī)械拋光中拋光液流動的微性分析

吉致資訊第4期:化學(xué)機(jī)械拋光中拋光液流動的微性分析

文章出處:責(zé)任編輯:人氣:-發(fā)表時間:2014-12-15 08:28【


吉致資訊第4期:化學(xué)機(jī)械拋光中拋光液流動的微性分析

 

CMP拋光中拋光液其流動速度有什么影響呢,今天就講解下拋光液流動性的影響。

現(xiàn)代芯片制造領(lǐng)域中有兩個相互矛盾的趨勢:被加工件的尺寸越來越大,而所需的加工精度要求卻越來越高,比如下一代集成電路中的晶片要求直徑大于300mm而表面粗糙度和波紋度要小于幾個埃,下一代磁盤也要求表面劃痕深度≤1nm,粗糙度≤0.1nm.這樣,有必要對材料進(jìn)行分子去除.

 

拋光液其所含的化學(xué)物質(zhì)與晶片表面或亞表面相互作用形成軟化層或者弱鍵,或者對晶片表面產(chǎn)生鈍化反應(yīng)從而使得材料可以以光滑和均勻的方式被切除,其所含的固體(納米)顆粒對軟化或弱鍵表面的磨損形成精表面.

 

事實上,CMP,重要的相互作用就是表層膜的形成與切除(如晶片金屬涂層的氧化與切除),切除材料從表面帶走等等,所以對拋光液流動規(guī)律的了解將有助于理解CMP的機(jī)理.

 

拋光液的流變性能對去除率和拋光質(zhì)量有重要作用.大多數(shù)的拋光液都含有固體粒子,如膠體氧化硅拋光液,可達(dá)到高的平整度.這樣改變了其流變性能.從物理上講,微流體是指這樣一類流體:它由剛性、隨機(jī)取向粒子(或者為球體)構(gòu)成,粒子懸浮于粘性介質(zhì)中,而粒子本身的變形可忽略不計.由于SiO2粒子通常以球形存在,用微流體來表征這種流體是一個較好的選擇.

━━━━━━━━━━━━━━━━━◆分割線◆━━━━━━━━━━━━━━━━━ 

拋光墊種類:阻尼布拋光墊,聚氨酯拋光墊,白磨皮拋光墊

『拋光墊直通車』:http://www.fuji1995.com/pgd.html

 

拋光液種類:氧化硅拋光液,氧化鋁拋光液,鉆石拋光液

『拋光液直通車』:http://www.fuji1995.com/pgy.html

 

『官方微信』:

可以直接搜索:fjdzkj

或者直接掃描官方二維碼

 

 

『吉致電子』始于1995年,專注鉆研化學(xué)機(jī)械拋光19年,化學(xué)機(jī)械拋光行業(yè)領(lǐng)軍者,品質(zhì)贏得世界500強(qiáng)青睞。

 

 


相關(guān)資訊