藍寶石拋光液如何選?
隨著科技的發(fā)展和迭代,3C科技產(chǎn)品對玻璃面板的要求越來越高,需要硬度更高且不容易劃傷的玻璃,因此藍寶石材質的應用和需求越來越廣泛,如手機藍寶石屏幕、藍寶石攝像頭、藍寶石手表等。藍寶石的特點是硬度高,脆性大,所以拋光液加工難度也大。
因此,很有必要研究并升級CMP拋光工藝在藍寶石窗口上的應用,選擇適用的CMP拋光液。目前國內(nèi)批量生產(chǎn)藍寶石襯底的技術還不成熟,切割出來的藍寶石晶片有很深的加工痕跡,拋光后容易形成麻點或劃痕。在藍寶石襯底的生產(chǎn)中,裂紋和崩邊的情況比較高,占總數(shù)的5%-8%。拋光過程中影響拋光質量的因素很多,如拋光液的成分和PH值、壓力、溫度、流量、轉速、拋光墊的質量等。
藍寶石拋光對拋光液的材質要求很高。太軟的磨料會導致拋光時間過長,拋光效果不理想。目前適用于藍寶石拋光液主要選擇鉆石拋光液。鉆石拋光液以人造金剛石為磨料,硬度高、韌性好,配合藍寶石拋光墊一起使用減薄速率快,切削力好。想要達到鏡面效果,可以使用氧化硅拋光液和精拋墊進行深入加工,達到精拋的效果。
吉致電子科技有限公司25年拋光液廠家,有豐富的拋光液拋磨案例,專業(yè)研發(fā)CMP化拋液,可為您提供優(yōu)質藍寶石拋光方案和產(chǎn)品。
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