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SiO2二氧化硅拋光液--硅溶膠粒徑大小的區(qū)別

文章出處:責(zé)任編輯:人氣:-發(fā)表時(shí)間:2023-01-06 16:24【

  二氧化硅拋光液SiO2 Slurry的制備中主要成分是納米硅溶膠,一般分為大粒徑硅溶膠和小粒徑硅溶膠,那么怎么定義硅溶膠粒徑大小呢,吉致電子小編為您詳解:

 大粒徑硅溶膠與小粒徑硅溶膠的定義

 CMP精拋液中納米硅溶膠顆粒的粒徑為10-50nm,這個(gè)粒徑范圍的硅溶膠在市場(chǎng)上最常見,價(jià)格也相對(duì)便宜。如果對(duì)硅溶膠的純度和pH值沒有特殊要求,這種規(guī)格的硅溶膠價(jià)格相對(duì)比較便宜。

吉致電子硅溶膠拋光液研磨液

 大粒徑硅溶膠:粒徑>50nm的硅溶膠一般可稱為大粒徑硅溶膠。吉致電子科技生產(chǎn)的大粒徑硅溶膠最大可達(dá)150nm,常規(guī)大顆粒硅溶膠粒徑有80nm、100nm、110nm、120nm、130nm等。

 小粒徑硅溶膠:粒徑<10 nm的硅溶膠顆粒一般可稱為小粒徑硅溶膠。吉致電子科技生產(chǎn)的小粒徑硅溶膠粒徑在6-10nm之間,有特殊需求的客戶可按需定制硅溶膠粒徑。吉致電子是CMP拋光液生產(chǎn)廠家,有25年的研發(fā)經(jīng)驗(yàn),我們知道只有優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和真誠的服務(wù)才能讓客戶滿意和回購,為解決客戶拋光難題是我們的使命和動(dòng)力,歡迎免費(fèi)試用吉致電子氧化硅拋光液產(chǎn)品!

  氧化硅拋光液——二氧化硅微粒在拋光工件表面的損傷層極微,硬度和硅片的硬度相近,常用于半導(dǎo)體硅片的拋光。

  氧化硅精拋液——采用納米級(jí)的硅溶膠有效減小表面粗糙度和損傷層深度。

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