您好,歡迎來到吉致電子科技有限公司官網(wǎng)!
收藏本站|在線留言|網(wǎng)站地圖

吉致電子拋光材料 源頭廠家
25年 專注CMP拋光材料研發(fā)與生產(chǎn)

訂購熱線:17706168670
熱門搜索: 阻尼布拋光墊復(fù)合拋光皮復(fù)合拋光墊粗拋皮粗拋墊
吉致電子專注金屬拋光、陶瓷拋光、半導(dǎo)體拋光、硬盤面板拋光
當(dāng)前位置:首頁» 行業(yè)資訊 » 吉致資訊第55期:化學(xué)機械拋光中拋光液的重要性

吉致資訊第55期:化學(xué)機械拋光中拋光液的重要性

文章出處:責(zé)任編輯:人氣:-發(fā)表時間:2015-06-22 11:40【


到目前為止,要實現(xiàn)大尺寸的硬盤、硅片等的高精度拋光,化學(xué)機械拋光是一能滿足全局和局部高別平面度的技術(shù)?;瘜W(xué)機械拋光中重要的問題是使拋光液在拋光墊和晶片之間均勻分部,目前CMP的拋光液通常使用球形納米顆粒來加速切除和優(yōu)化拋光質(zhì)量,微性將提高拋光液的等效粘度從而在一定程度上提高承載能力,進而加速材料的去除,這在低節(jié)距或低轉(zhuǎn)速下尤為明顯。

 

 

拋光液的流變性能對去除率和拋光質(zhì)量有重要作用.大多數(shù)的拋光液都含有固體粒子,如膠體 SiO2拋光液,可達到高的平整度,這樣改變了其流變性能.從物理上講,微流體是指這樣一類流體:它由剛性、隨機取向粒子(或者為球體)構(gòu)成,粒子懸浮于粘性介質(zhì)中,而粒子本身的變形可忽略不計.由于SiO2粒子通常以球形存在,用微流體來表征這種流體是一個較好的選擇。

 

 

增加節(jié)距高度值(即晶片與拋光墊之間的距離),將導(dǎo)致承載能力的降低,所以在CMP中需要慎重選擇合適的間隙值(過大的間隙將降低承載能力,從而降低拋光速率,而過小的間隙將妨礙拋光液中固體顆粒和磨屑的帶出,從而惡化拋光質(zhì)量).另外,納米粒子引起的微性將增加承載能力,增加特征長度l或耦合數(shù)N都將增加承載能力.間隙值越小,這種效應(yīng)越明顯,體現(xiàn)出微性的尺寸依賴性。

━━━━━━━━━━━━━━━◆分割線◆━━━━━━━━━━━━━━━

拋光墊種類:阻尼布拋光墊,聚氨酯拋光墊,白磨皮拋光墊

『拋光墊直通車』:http://www.fuji1995.com/pgd.html

 

拋光液種類:氧化硅拋光液,氧化鋁拋光液,鉆石拋光液

『拋光液直通車』:http://www.fuji1995.com/pgy.html

 

『官方微信』:

可以直接搜索:fjdzkj

或者直接掃描官方二維碼

 

 

『吉致電子』始于1995年,專注鉆研化學(xué)機械拋光20余年,化學(xué)機械拋光行業(yè)領(lǐng)軍者,品質(zhì)贏得世界500強青睞。

 


此文關(guān)鍵字:拋光皮 拋光液 拋光墊

相關(guān)資訊