- [行業(yè)資訊]納米拋光液---吉致電子氧化硅slurry的應(yīng)用及特點(diǎn)[ 2024-10-10 16:56 ]
- 吉致電子納米級氧化硅拋光液是以高純度硅粉為原料,經(jīng)特殊工藝生產(chǎn)的一種高純度低金屬離子型CMP拋光產(chǎn)品。粒度均一的SiO2磨料顆粒在CMP研磨過程中分散均勻,能達(dá)到快速拋光的目的且不會對加工件造成物理損傷。納米級硅溶膠拋光液不易腐蝕設(shè)備,提高了使用的安全性。制備工藝和配方有效提高了平坦化加工速率,快速降低表面粗糙度,且工件表面劃傷少。 吉致電子氧化硅slurry粒徑分布可控,根據(jù)不同的拋光需求,生產(chǎn)出不同粒徑大小的納米氧化硅拋光液,粒徑范圍通常在 5-100nm 之間。以氧化硅為磨料的納米拋
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- [常見問題]二氧化硅拋光液與硅溶膠拋光液有啥不同[ 2023-08-11 16:04 ]
- 二氧化硅拋光液是以高純度硅粉為原料,經(jīng)特殊工藝制備成的一種低金屬離子高純度CMP拋光產(chǎn)品。 硅溶膠拋光液是以液體形式存在,直徑為10-150nm的二氧化硅粒子(分散相)在水或有機(jī)液體(分散介質(zhì))里的分散體系,粒子的形貌多為球形,適用于各類工件的鏡面拋光,如金屬、藍(lán)寶石襯底、半導(dǎo)體、光學(xué)玻璃、精密電子元器件等的鏡面拋光。 本質(zhì)上講二氧化硅拋光液、硅溶膠拋光液都是一種東西,主要成分都是SiO2只是叫法不同。在CMP研磨拋光工藝中,機(jī)器通過壓力泵把氧化硅拋光液輸送到拋光槽內(nèi)進(jìn)行循環(huán)使用,
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- [常見問題]如何解決氧化硅拋光液結(jié)晶問題[ 2023-05-09 17:17 ]
- 二氧化硅拋光液在拋光過程中會出現(xiàn)結(jié)晶結(jié)塊的現(xiàn)象,雖然不是大問題但如果處理不當(dāng),很可能會導(dǎo)致工件表面劃傷甚至報廢,那么怎么解決氧化硅拋光液結(jié)晶問題呢? 首先要了解硅溶膠拋光液的特點(diǎn)屬性。二氧化硅拋光液是以高純度硅粉為原料,經(jīng)水解法離子、交換法制備成的一種高純度低金屬離子型產(chǎn)品。在水性環(huán)境中容易形成一種離子網(wǎng)狀結(jié)構(gòu),而一脫離了水份,表面積迅速凝結(jié)形成結(jié)晶塊,所以只要保持水分基本上是不會出現(xiàn)結(jié)晶現(xiàn)象。在實(shí)際CMP拋光工藝當(dāng)中硅溶膠拋光液會一直在研磨盤轉(zhuǎn)動、流動,結(jié)晶情況較少。 因此氧化
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- [吉致動態(tài)]CMP拋光液---納米氧化鈰拋光液的優(yōu)點(diǎn)[ 2023-03-03 09:15 ]
- 通?;瘜W(xué)機(jī)械研磨拋光工藝使用的CMP拋光液有金剛石拋光液、氧化硅拋光液、氧化鋁拋光液及氧化鈰拋光液(又稱稀土拋光液)。 納米氧化鈰為水性液體是吉致電子采用先進(jìn)的分散工藝,將納米氧化鈰粉體分散在水相介質(zhì)中,形成高度分散化、均勻化和穩(wěn)定化的納米氧化鈰水性懸浮液。1.在拋光材料應(yīng)用中,納米CeO2拋光液相對硅溶膠,具有拋光劃傷少、拋光速度快、易清洗良品率高等優(yōu)勢,且PH中性,使用壽命長、對拋光表面污染小,不易風(fēng)干。2.在拋光軍用紅外激光硅片、異型硅、超薄硅片方面上,尤其是拋光超薄硅片,納米氧化鈰
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- [常見問題]SiO2二氧化硅拋光液--硅溶膠粒徑大小的區(qū)別[ 2023-01-06 16:24 ]
- 二氧化硅拋光液SiO2 Slurry的制備中主要成分是納米硅溶膠,一般分為大粒徑硅溶膠和小粒徑硅溶膠,那么怎么定義硅溶膠粒徑大小呢,吉致電子小編為您詳解: 大粒徑硅溶膠與小粒徑硅溶膠的定義 CMP精拋液中納米硅溶膠顆粒的粒徑為10-50nm,這個粒徑范圍的硅溶膠在市場上最常見,價格也相對便宜。如果對硅溶膠的純度和pH值沒有特殊要求,這種規(guī)格的硅溶膠價格相對比較便宜。 大粒徑硅溶膠:粒徑>50nm的硅溶膠一般可稱為大粒徑硅溶膠。吉致電子科技生產(chǎn)的大粒徑硅溶膠最大可達(dá)150n
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- [吉致動態(tài)]硅溶膠研磨液--精密工件鏡面拋光效果秘密[ 2023-01-06 13:52 ]
- 吉致電子硅溶膠研磨液/拋光液采用的是納米級工藝,主要粒徑在10-150nm。適用于各種材質(zhì)工件的CMP表面鏡面處理。以硅溶膠漿料為鏡面的平面研磨的材料有半導(dǎo)體晶圓、光學(xué)玻璃、3C電子金屬元件、藍(lán)寶石襯底、LED顯示屏等高精密元件。 硅溶膠拋光液也稱二氧化硅拋光液、氧化硅精拋液,SiO2是硅溶膠的化學(xué)名,適用范圍已擴(kuò)展到半導(dǎo)體產(chǎn)品的CMP拋光工藝中。 CMP拋光機(jī)可以將氧化硅研磨液循環(huán)引入磨盤,同時起到潤滑和冷卻的作用,通過拋光液和拋光墊組合拋磨可以使工件表面粗糙度達(dá)到0.2um
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- [行業(yè)資訊]半導(dǎo)體拋光液--球型二氧化硅拋光液的用途[ 2022-11-23 15:21 ]
- 球形硅微粉作為拋光液磨料,可大大提高產(chǎn)品的剛性、耐磨性、耐候性、抗沖擊性、耐壓性、抗拉性、阻燃性、良好的耐電弧絕緣性和耐紫外線輻射性。讓我們來看看球型二氧化硅拋光液在電子芯片中的一些應(yīng)用。 精密研磨粉高純球形硅粉用于光學(xué)器件和光電行業(yè)的精密研磨,特別適用于半導(dǎo)體單晶多晶硅片、顯像管玻殼玻屏、光學(xué)玻璃、液晶顯示器(LCD、LED)玻璃基板、壓電晶體、化合物半導(dǎo)體材料(砷化鎵、磷化銦)、磁性材料等半導(dǎo)體行業(yè)的研磨拋光。 吉致電子用高純球形硅粉制備成的超高純硅溶膠拋光液slurry,
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- [行業(yè)資訊]氧化鋁拋光液在藍(lán)寶石窗口中的應(yīng)用[ 2022-09-23 15:36 ]
- α -氧化鋁(Al2O3)是眾多氧化鋁晶相中的最穩(wěn)定的晶體相,它由其他晶相的氧化鋁在高溫下轉(zhuǎn)變而成,是天然氧化物晶體中硬度最高的物質(zhì),硬度僅次于金剛石,遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于二氧化硅溶膠顆粒,它是一種常用的拋光用磨料,被廣泛用于許多硬質(zhì)材料的拋光上。應(yīng)用于CMP拋光液制備中,常用于在藍(lán)寶石窗口的鏡面拋光工藝中。 α -氧化鋁(Al2O3)其實(shí)與藍(lán)寶石是同一種物質(zhì)或材料,材料結(jié)構(gòu)中的原子排列模式完全相同,區(qū)別在于多晶體與單晶體。因此,從硬度上講α-氧化鋁(Al2O3)納米粉體與藍(lán)寶石晶體的硬度相當(dāng),可以用于
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- [常見問題]什么是混合磨料拋光液?[ 2022-09-08 16:12 ]
- 混合磨料拋光液 拋磨工件材質(zhì)的升級和發(fā)展,對鏡面要求越來越高,單一的磨料已無法滿足CMP行業(yè)需求,研究人員開始嘗試將不同粒徑、不同形貌的一種或多種粒子組合到一起使用,開發(fā)出混合型拋光液。比如,在大粒徑二氧化硅中加入小粒徑的氧化硅,這樣能明顯提高拋光速率,且粒徑相差越大提升率越高,這是因?yàn)樵谀チ显诳偟馁|(zhì)量分?jǐn)?shù)不變的條件下,增大小粒徑磨料的占比能增加硅溶膠顆粒的總體數(shù)量,從而起到了提高拋光速率的作用。 大量的研究成果表明,混合粒子的使用能夠不同程度的提高化學(xué)機(jī)械拋光的速率,但是對拋光后表面粗糙度
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- [常見問題]CMP拋光液中磨料對拋光效果的影響[ 2022-08-30 15:49 ]
- 磨料對拋光效果的影響在CMP拋光過程中磨料的作用是借助機(jī)械力,通過化學(xué)反應(yīng)去除工件或晶圓表面形成的鈍化膜,從而達(dá)到表面平坦化的目的。CMP拋光液常用的磨料有硅溶膠SiO2、氧化鋁Al2O3、氧化鈰CeO2、金剛石等。磨料的種類磨料的種類和材質(zhì)決定了拋光液中微粒的硬度和粒徑,從而影響拋光效果。拋光鋁合金工件實(shí)驗(yàn)中相對于氧化鋁拋光液Al2O3磨料,氧化硅拋光液SiO2磨料能獲得較好的表面平整度、更少的表面劃痕和更小的尺寸。原因是硅溶膠拋光液SiO2磨粒尺寸較小,拋光時磨料嵌入晶圓表面的深度較小。 此外,通過優(yōu)
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- [常見問題]吉致電子硅溶膠拋光液的適用范圍[ 2022-08-19 15:44 ]
- 硅溶膠拋光液又稱氧化硅拋光液,通過離子交換法和水解法制備不同粒徑的穩(wěn)定硅溶膠,經(jīng)過鈍化添加化學(xué)助劑和特殊工藝配制成的二氧化硅拋光漿料,廣泛應(yīng)用于集成電路半導(dǎo)體、特殊材料、金屬工件、脆硬鏡面的拋光。吉致電子25年CMP拋光液生產(chǎn)廠家,可根據(jù)客戶不同工藝要求定制調(diào)整拋光漿料。氧化硅拋光液主要適用范圍:1.可用于玻璃陶瓷的表面拋光。2.用于硅片和IC加工的粗拋和精拋,適用于大規(guī)模集成電路多層膜的平坦化。3.用于半導(dǎo)體元件的加工,如晶圓后道CMP清洗、光導(dǎo)攝像管、多晶化模塊、平板顯示器、微電機(jī)系統(tǒng)等。4.廣泛應(yīng)用于CMP化
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- [吉致動態(tài)]吉致電子納米氧化硅拋光液的特點(diǎn)[ 2022-08-19 15:29 ]
- 吉致電子納米氧化硅拋光液的特點(diǎn):1,可提高工件拋光速率和平坦度加工質(zhì)量,氧化硅拋光液采用高純納米二氧化硅(SiO2)磨料及多種復(fù)合材料配置而成,不會對工件造成物理損傷,拋光率高。2,利用均勻分散的膠體二氧化硅粒子顆粒達(dá)到高速拋光的目的。3,硅溶膠純度高,拋光液不腐蝕設(shè)備,無毒無害使用安全性能高。4,可實(shí)現(xiàn)高平坦化加工。5,有效減少拋光后的表面劃痕,降低表面粗糙度。吉致電子通過科學(xué)工藝分散均勻的氧化硅顆粒,得到均勻分散的納米拋光液,具有高強(qiáng)度、高附著力、成膜性好、高滲透、高耐磨性等特點(diǎn),是一種性能優(yōu)良的CMP技術(shù)用的
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- [吉致動態(tài)]鏡面拋光液---氧化硅拋光液在拋光中的作用[ 2022-08-12 14:17 ]
- 鏡面拋光液的主要材料是納米二氧化硅磨料,制備成的液體漿料也稱為硅溶膠拋光液。二氧化硅拋光液主要適用于拋光藍(lán)寶石襯底、硅片、半導(dǎo)體、精密電子工件、晶體等產(chǎn)品。二氧化硅拋光漿料主要利用硅膠離子的高速拋光來達(dá)到表面處理的效果。二氧化硅是用納米技術(shù)制成的。根據(jù)工件拋磨要求,可制備出不同切削力的產(chǎn)品達(dá)到鏡面拋光。粒度控制可以有效減少電子工件上的污垢,使用納米級硅膠顆粒加工工件,不會損傷工件,同時還能達(dá)到理想效果氧化硅拋光液需要配合精拋墊使用,精拋墊的主要成分是聚氨酯,聚氨酯的眾多孔隙可以將拋光液均勻地粘在其表面,與工件一起研
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- [吉致動態(tài)]氧化硅拋光液的結(jié)晶問題[ 2022-08-12 13:25 ]
- 氧化硅拋光液長時間暴露在空氣中,會使水分蒸發(fā)剩下固體氧化硅,造成硅晶體析出現(xiàn)象,稱之為結(jié)晶。在實(shí)際應(yīng)用時,硅溶膠拋光液會一直在磨盤內(nèi)旋轉(zhuǎn)循環(huán)及流動,結(jié)晶現(xiàn)象較少,但是高溫或拋光液濃度沒有配置好,會造成團(tuán)聚,損傷工件,影響拋光效果。根據(jù)二氧化硅的特性,吉致電子拋光液廠家開發(fā)了抗結(jié)晶納米二氧化硅拋光液,可以長時間保持氧化硅穩(wěn)定液體狀態(tài)。拋磨工件時易搖散且不團(tuán)聚,化學(xué)性能穩(wěn)定分散均勻,氧化硅精拋液拋光效率高,能有效縮短工時,磨拋后工件呈現(xiàn)鏡面效果,無劃傷、高平坦。 外需要注意的是,氧化硅拋光液的
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- [吉致動態(tài)]吉致電子---氧化硅拋光液的特點(diǎn)和作用[ 2022-08-04 14:54 ]
- 氧化硅拋光液的主要成分是高純二氧化硅粉為,經(jīng)特殊工藝生產(chǎn)的一種高純度低金屬離子型拋光液。氧化硅溶液其實(shí)就是市面上的硅溶膠,當(dāng)然是二次加工后的硅溶膠。因?yàn)?font color='red'>硅溶膠是膠狀的,不能直接研磨拋光。這項(xiàng)技術(shù)的主要應(yīng)用是CMP半導(dǎo)體拋光。該技術(shù)在相對早期階段就已存在,但市場應(yīng)用范圍較窄。 氧化硅外觀為乳白色懸浮液,呈堿性、中性、酸性。一般時間長了不會有沉淀,但是暴露在空氣中很快就會結(jié)晶,有一定的腐蝕性。不銹鋼工件在二氧化硅環(huán)境中容易生銹,拋光工件時應(yīng)及時清洗掉二氧化硅溶液。&n
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- [行業(yè)資訊]吉致電子--拋光液的主要成分和功能有哪些?[ 2022-07-22 16:52 ]
- 拋光液的主要成分可分為以下幾類:氧化鋁拋光液、氧化鈰拋光液、金剛石研磨液(聚晶鉆石拋光液、單晶金剛石拋光液、納米金剛石拋光液)、氧化硅拋光液、碳化硅拋光液。 硅溶膠拋光液(氧化硅拋光液)是以高純硅粉為原料,通過特殊工藝(如水解法)生產(chǎn)的高純度低金屬離子型拋光產(chǎn)品。廣泛應(yīng)用于多種納米級材料的高平坦化拋光,如硅晶片、鍺晶片、砷化鎵、磷化銦等化合物半導(dǎo)體材料、精密光學(xué)器件、藍(lán)寶石襯底、藍(lán)寶石窗口等。 金剛石拋光液以金剛石微粉為主要成分,高分散配方,硬度高韌性好,有良好的高切削率,不易
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- [行業(yè)資訊]CMP拋光技術(shù)在半導(dǎo)體和藍(lán)寶石工件中的應(yīng)用[ 2022-07-05 15:08 ]
- 藍(lán)寶石襯底拋光用什么工藝可以實(shí)現(xiàn)?LED芯片又是怎么實(shí)現(xiàn)表面拋光平整的?吉致電子拋光液小編帶您了解!目前LED芯片主要采用的襯底材料是藍(lán)寶石,在加工過程中需要對其進(jìn)行減薄和拋光。藍(lán)寶石的硬度高,普通磨料難以對其進(jìn)行加工。在用金剛石研磨液對藍(lán)寶石襯底表面進(jìn)行減薄和粗磨后,表面不可避免的有一些或大或小的劃痕。CMP拋光液利用"軟磨硬"的原理很好的實(shí)現(xiàn)了藍(lán)寶石表面的精密拋光。隨著LED行業(yè)的快速發(fā)展,聚晶金剛石研磨液及二氧化硅溶膠拋光液的需求也與日俱增。CMP技術(shù)還廣泛的應(yīng)用于集成電路(IC)和大規(guī)模
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- [常見問題]氧化硅拋光液顏色的區(qū)別[ 2022-06-23 13:42 ]
- 吉致電子氧化硅拋光液的顏色有白色、乳白色和淺藍(lán)色。硅溶膠拋光液顏色不同,其二氧化硅含量和用途也不一樣。一般來說,二氧化硅拋光液顏色越藍(lán),濃度越高,粒度越細(xì)。濃度降低顏色就會變白,但是含量過低也會變白,這個要做濃度測試才能判斷。二氧化硅拋光液的顏色不同,拋光工件的類型和粒度也不同。一般鑄造鋁合金的液態(tài)二氧化硅是藍(lán)色的,且藍(lán)色比較透明,這樣的氧化硅粒徑較小,因?yàn)殇X合金鏡面的光澤度要求更高。一般來說,工件光澤度要求越高,拋光耗材的粒度越小,這就決定了鋁合金拋光液粒度要達(dá)納米級別的原因。拋光不銹鋼金屬的氧化硅溶液一般為乳白
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- [行業(yè)資訊]吉致資訊第119期 藍(lán)寶石化學(xué)機(jī)械拋光液作用研究[ 2017-10-13 16:44 ]
- 目前,藍(lán)寶石基片是LED工業(yè)的首選襯底,藍(lán)寶石表面的質(zhì)量對LED器件的質(zhì)量和性能有著非常重要的影響。因此,在生產(chǎn)藍(lán)寶石基片時,對后一道工序拋光加工工序有很高的要求,要求藍(lán)寶石基片的表面光滑、無缺陷,這也是藍(lán)寶石襯底重要的制程。但是,由于藍(lán)寶石晶體材料硬度高,脆性大,屬于典型的難加工材料之一。因此,如何讓拋光加工滿足日益增長的嚴(yán)格要求長期以來備受關(guān)注。如今的化學(xué)機(jī)械拋光是一可實(shí)現(xiàn)全局平坦化的拋光方法,而且它的成本相對較低,也是迄今為止可以在藍(lán)寶石生產(chǎn)中大規(guī)模應(yīng)用的拋光方法。硅溶膠為納米的二氧化硅顆粒,在水中
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